專業石墨製品工廠帶您解讀超純度石墨製品應用於電子半導體行業的工藝技術

    超純度石墨製品依據均勻細顆粒的特性可作為低原子序數資料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，很強的抗腐蝕性，超純度石墨製品沒有金屬離子不會對半導體發生汙染，金屬部件暴露在離子注入設備中會形成高的損耗，故這時使用相應的石墨件來作屏蔽罩。用於等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電極室、噴嘴、內襯、濺射用電極、movcd感受器等。

    在半導體工業中，超純度石墨製品主要是作為加熱體係、保溫罩、電極等存在，選用高純石墨做這些部件也是充分利用了超純度石墨製品耐高溫這一特點。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導電導熱的長處使用到了半導體工業中，使工件使用壽命更長、更加減磨省電。我司選用德國半導體等級石墨資料，精密製作離子注入用石墨耗材，提供標準件及客製化規格。